应对不同拉晶直径的新型导流筒[发明专利]

(12)发明专利申请

(10)申请公布号 CN 110144621 A(43)申请公布日 2019.08.20

(21)申请号 201910556389.0(22)申请日 2019.06.25

(71)申请人 宁夏银和新能源科技有限公司

地址 750021 宁夏回族自治区银川市西夏

区光明西路25号(72)发明人 丁亚国　梁万亮　马国忠　顾燕滨　

河野贵之　(74)专利代理机构 宁夏合天律师事务所 64103

代理人 郑重　孙彦虎(51)Int.Cl.

C30B 15/00(2006.01)C30B 29/06(2006.01)

权利要求书1页 说明书3页 附图4页

CN 110144621 A(54)发明名称

应对不同拉晶直径的新型导流筒(57)摘要

本发明公开了一种应对不同拉晶直径的新型导流筒，属于单晶硅生产设备技术领域。包括外壳、内胆及填充于所述外壳与所述内胆之间的隔热层，所述外壳包括侧立壁及连接底板，所述连接底板可拆卸连接所述侧立壁。实际应用中，按照最大规格单晶硅硅棒拉制需求，制备所述侧立壁，按照不同规格单晶硅硅棒拉制需求制备不同尺寸的所述连接底板，当需要切换生产不同规格的单晶硅硅棒时，仅需要将所述连接底板从所述侧立壁上拆除，并更换所述连接立板、所述内胆及所述隔热层，即可满足不同规格的单晶硅硅棒的生产需求，大大降低了设备闲置率，降低了设备成本，延长了设备使用寿命。

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权　利　要　求　书

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1.一种应对不同拉晶直径的新型导流筒，包括外壳、内胆及填充于所述外壳与所述内胆之间的隔热层，其特征在于，所述外壳包括侧立壁及连接底板，所述连接底板可拆卸连接所述侧立壁。

2.如权利要求1所述的应对不同拉晶直径的新型导流筒，其特征在于，所述侧立壁的底端设置有第一支撑台阶，所述连接底板靠近所述侧立壁的一端设置有与所述第一支撑台阶对应的第一坐落台阶，所述第一坐落台阶叠合于所述第一支撑台阶上。

3.如权利要求1或2所述的应对不同拉晶直径的新型导流筒，其特征在于，所述连接底板远离所述侧立壁的一端可拆卸连接所述内胆。

4.如权利要求3所述的应对不同拉晶直径的新型导流筒，其特征在于，所述连接底板远离所述侧立壁的一端设置有第二支撑台阶，所述内胆的底端设置有第二坐落台阶，所述第二坐落台阶叠合于所述第二支撑台阶。

5.如权利要求3所述的应对不同拉晶直径的新型导流筒，其特征在于，所述外壳的上端向外弯折，形成外壳连接部，所述内胆的上端向外弯折，形成内胆连接部，所述内胆连接部叠合于所述外壳连接部上。

6.如权利要求5所述的应对不同拉晶直径的新型导流筒，其特征在于，所述内胆连接部能够相对所述外壳连接部位移。

7.如权利要求6所述的应对不同拉晶直径的新型导流筒，其特征在于，所述外壳连接部上开设有连接螺孔，所述内胆连接部上开设有条形连接槽，所述内胆连接部通过连接螺母连接所述外壳连接部，所述连接螺母能够在所述条形连接槽中滑动。

8.如权利要求1所述的应对不同拉晶直径的新型导流筒，其特征在于，所述侧立壁包括直立壁段及过渡弧段，所述过渡弧段一端与所述直立壁段相切，另一端与所述连接底板相切。

9.如权利要求3所述的应对不同拉晶直径的新型导流筒，其特征在于，所述连接底板与所述侧立壁的连接处具有0～2mm的间隙，所述连接底板与所述内胆的连接处具有0～2mm的间隙。

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说　明　书

应对不同拉晶直径的新型导流筒

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技术领域

[0001]本发明属于单晶硅生产设备技术领域，具体涉及一种应对不同拉晶直径的新型导流筒。

背景技术

[0002]导流筒是单晶硅拉制炉热场系统的关键元件之一，主要用于控制热场的轴向温度梯度和引导氩气流。拉晶直径在6.5吋至18吋不等的单晶硅硅棒时，拉晶直径与导流筒直径有直接关系，因此在生产不同规格的单晶硅时，需要使用不同规格的导流筒。随着单晶硅硅棒规格需求的日益多元化，根据不同规格的单晶硅硅棒的需求制作或购买导流筒，无疑增加了设备成本，造成设备闲置率过高。发明内容

[0003]有鉴于此，本发明提供一种通用性能好，通过简单的零部件更换即可满足不同单晶硅硅棒的生产需求的应对不同拉晶直径的新型导流筒。[0004]本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种应对不同拉晶直径的新型导流筒，包括外壳、内胆及填充于所述外壳与所述内胆之间的隔热层，所述外壳包括侧立壁及连接底板，所述连接底板可拆卸连接所述侧立壁。[0005]优选地，所述侧立壁的底端设置有第一支撑台阶，所述连接底板靠近所述侧立壁的一端设置有与所述第一支撑台阶对应的第一坐落台阶，所述第一坐落台阶叠合于所述第一支撑台阶上。[0006]优选地，所述连接底板远离所述侧立壁的一端可拆卸连接所述内胆。[0007]优选地，所述连接底板远离所述侧立壁的一端设置有第二支撑台阶，所述内胆的底端设置有第二坐落台阶，所述第二坐落台阶叠合于所述第二支撑台阶。[0008]优选地，所述外壳的上端向外弯折，形成外壳连接部，所述内胆的上端向外弯折，形成内胆连接部，所述内胆连接部叠合于所述外壳连接部上。[0009]优选地，所述内胆连接部能够相对所述外壳连接部位移。[0010]优选地，所述外壳连接部上开设有连接螺孔，所述内胆连接部上开设有条形连接槽，所述内胆连接部通过连接螺母连接所述外壳连接部，所述连接螺母能够在所述条形连接槽中滑动。

[0011]优选地，所述侧立壁包括直立壁段及过渡弧段，所述过渡弧段一端与所述直立壁段相切，另一端与所述连接底板相切。[0012]优选地，所述连接底板与所述侧立壁的连接处具有0～2mm的间隙，所述连接底板与所述内胆的连接处具有0～2mm的间隙。[0013]由上述技术方案可知，本发明提供了一种应对不同拉晶直径的新型导流筒，其有益效果是：本发明改变了传统导流筒外壳一体化设计的模式，将导流筒的外壳分为可拆卸连接的所述侧立壁及所述连接底板，实际应用中，按照最大规格单晶硅硅棒拉制需求，制备

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所述侧立壁，按照不同规格单晶硅硅棒拉制需求制备不同尺寸的所述连接底板，当需要切换生产不同规格的单晶硅硅棒时，仅需要将所述连接底板从所述侧立壁上拆除，并更换所述连接立板、所述内胆及所述隔热层，即可满足不同规格的单晶硅硅棒的生产需求，大大降低了设备闲置率，降低了设备成本。同时，需要说明的是，将所述外壳分为可拆卸连接的所述侧立壁及所述连接底板，能够有效的降低在热场中，所述外壳在过渡处所产生的热应力，从而延长了设备的使用寿命。

附图说明

[0014]图1是应对不同拉晶直径的新型导流筒的结构示意图。[0015]图2是图1所示的A部的局部放大图。

[0016]图3是应对不同拉晶直径的新型导流筒的结构示意图侧视图。[0017]图4是图3所示的A-A向剖面视图。[0018]图5是图4所示的B部的局部放大图。[0019]图中：应对不同拉晶直径的新型导流筒10、外壳100、侧立壁110、第一支撑台阶111、直立壁段112、过渡弧段113、连接底板120、第一坐落台阶121、第二支撑台阶122、外壳连接部130、连接螺孔131、内胆200、第二坐落台阶201、内胆连接部210、条形连接槽211、隔热层300。

具体实施方式

[0020]以下结合本发明的附图，对本发明技术方案以及技术效果做进一步的详细阐述。[0021]请参看图1至图5，一具体实施方式中，一种应对不同拉晶直径的新型导流筒10，安装于直拉单晶炉中，用于控制热场的轴向温度梯度和引导氩气流。所述应对不同拉晶直径的新型导流筒10包括外壳100、内胆200及填充于所述外壳100与所述内胆200之间的隔热层300，所述外壳100包括侧立壁110及连接底板120，所述连接底板120可拆卸连接所述侧立壁110。

[0022]实际生产中，所述侧立壁110按照最大规格的单晶硅硅棒拉制需求制备，所述连接底板120根据不同规格的单晶硅硅棒拉制的需求，设置有不同的宽度尺寸，当需要切换生产不同规格的单晶硅硅棒时，仅仅需要将所述连接底板120从所述侧立壁110上拆除，并更换所述连接立板120、所述内胆200及所述隔热层300，即可满足不同规格的单晶硅硅棒的生产需求，大大降低了设备闲置率，降低了设备成本。[0023]同时，由于所述连接底板120与所述侧立壁110可拆卸连接，在其连接处必然存在连接接口，连接接口的存在有助于降低所述应对不同拉晶直径的新型导流筒10在所述侧立壁110的弧角过渡出产生的热应力，从而降低了所述外壳100的应力损坏风险，保证拉晶过程的平稳，延长设备的使用寿命。[0024]值得说明的是，上述的可拆卸连接是指能够将所述连接底板120从所述侧立壁110上拆除的连接方式，包括但不限于卡接、插接、螺纹连接、粘接等。例如，所述侧立壁110的底端设置有第一支撑台阶111，所述连接底板120靠近所述侧立壁110的一端设置有与所述第一支撑台阶111对应的第一坐落台阶121，所述第一坐落台阶121叠合于所述第一支撑台阶111上。即，所述连接底板120的一端通过所述第一坐落台阶121坐落在所述侧立壁110上，并

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通过所述第一支撑台阶111支撑。所述连接底板120呈环状，故而能够稳定的安装。[0025]进一步地，所述连接底板120远离所述侧立壁110的一端可拆卸连接所述内胆200，以便于拆卸更换所述连接底板120及所述内胆200。上述的可拆卸连接是包括但不限于卡接、插接、螺纹连接、粘接等。具体地，所述连接底板120远离所述侧立壁110的一端设置有第二支撑台阶122，所述内胆200的底端设置有第二坐落台阶201，所述第二坐落台阶201叠合于所述第二支撑台阶122。[0026]进一步地，所述外壳100的上端向外弯折，形成外壳连接部130，所述内胆200的上端向外弯折，形成内胆连接部210，所述内胆连接部210叠合于所述外壳连接部130上，以利用所述外壳连接部130提供支撑力，支撑所述内胆200，减少所述内胆200掉落的风险，也减少所述内胆200底部对所述连接底板120的作用力，使得所述内胆、所述外胆及所述连接底板120稳定连接。

[0027]请继续参看图1与图2，又一较佳实施方式中，所述内胆连接部210能够相对所述外壳连接部130位移，即所述内胆连接部210与所述外壳连接部130的连接位置能够变动，以根据所述连接底板120的规格调节所述内胆连接部210与所述外壳连接部130的连接位置，进而实现，在拉制不同规格的单晶硅硅棒过程中，仅仅需要更换所述连接底板120及所述隔热层300，即可满足生产需求。[0028]具体地，所述外壳连接部130上开设有连接螺孔131，所述内胆连接部210上开设有条形连接槽211，所述内胆连接部211通过连接螺母连接所述外壳连接部130，所述连接螺母能够在所述条形连接槽211中滑动。例如，当需要拉制较小尺寸规格的单晶硅硅棒时，将原连接底板120及所述隔热层300拆除，更换为小尺寸规格的所述连接低板120及所述隔热层300，此时，将所述内胆200向朝向所述外壳100的方向移动，使得所述内胆连接部210与所述外壳连接部130的结合深度变大，到合适位置后，利用所述连接螺母，穿过所述条形连接槽211及所述连接螺孔131，并将所述内胆连接部210与所述外壳连接部130固定，从而实现仅仅更换所述连接底板120及所述隔热层300，即可满足不同规格尺寸的单晶硅硅棒的拉制需求。

[0029]又一较佳实施方式中，所述侧立壁110包括直立壁段112及过渡弧段113，所述过渡弧段113一端与所述直立壁段112相切，另一端与所述连接底板120相切，以提高所述导流筒对氩气流的导流效果，提高单晶硅硅棒品质。[0030]再一较佳实施方式中，所述连接底板120与所述侧立壁110的连接处具有0～2mm的间隙，所述连接底板120与所述内胆200的连接处具有0～2mm的间隙，以进一步降低所述应对不同拉晶直径的新型导流筒10在热场中产生的热应力，延长设备使用寿命。[0031]以上所揭露的仅为本发明较佳实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程，并依本发明权利要求所作的等同变化，仍属于发明所涵盖的范围。

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图3

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图4

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图5

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