专利名称：梳齿式体硅加工微机械加速度计专利类型：发明专利
发明人：高钟毓,王永梁,董景新,张嵘,赵长德,曹志锦,袁光,马
新龙
申请号：CN02103612.8申请日：20020129公开号：CN1359007A公开日：20020717
摘要：一种梳齿式体硅加工微机械加速度计属于惯性仪表领域,其结构包括由体加工形成的齿枢、多组动齿和折叠梁组构成的敏感质量元件、定齿偏置的固定齿和基片,电路包括微电容检测、力反馈伺服电路等部分。本发明将面加工梳齿结构通过定齿偏置结构等发展成体加工梳齿结构,增大了检测和加力电容,从而使分辨率和精度大大提高。此外,前置放大器采用低输入阻抗电路,闭环反馈加力采用差动直流电压方式,使仪表达到了较高的精度。
申请人：清华大学
地址：100084 北京100084-82信箱
国籍：CN
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