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一种激光器芯片测试装置及测试方法

2021-11-13 来源:爱站旅游
导读一种激光器芯片测试装置及测试方法
(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(21)申请号 CN202010308936.6 (22)申请日 2020.04.19

(71)申请人 大连优迅科技有限公司

地址 116023 辽宁省大连市高新园区高能街125号电梯5层

(10)申请公布号 CN111323696A

(43)申请公布日 2020.06.23

(72)发明人 廖传武;王志文;侯炳泽 (74)专利代理机构 大连理工大学专利中心

代理人 隋秀文

(51)Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

(54)发明名称

一种激光器芯片测试装置及测试方法

(57)摘要

本发明属于光通信技术领域,具体涉及一

种激光器芯片测试装置及测试方法,用于测试激光器芯片的光谱。测试装置包括:左、右探针调节台、芯片热沉调节基台、芯片测试台底座。探针调节台包括轴位移台底座、三轴位移台、探针底座、探针支架、芯片探针,三轴位移台用于调节芯片探针的位置,探针底座用于调节探针支架的角度,芯片探针尖端设有软探针。右探针调节台结构与左探针调节台相同,分别连接LD‑探针和

LD+探针,芯片热沉调节基台设于两探针调节台之间,包括xy位移台底座、xy位移台和芯片测试台,芯片测试台上表面设有多个真空吸孔,用于放置待测激光器芯片。本发明实现在封装前对芯片进行测试、筛选掉不合格的芯片,以避免损失。

法律状态

法律状态公告日

2020-06-23 2020-06-23 2020-07-17

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效

法律状态

公开 公开

实质审查的生效

权利要求说明书

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说明书

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